[发明专利]多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统无效
申请号: | 200710070535.6 | 申请日: | 2007-08-23 |
公开(公告)号: | CN101158549A | 公开(公告)日: | 2008-04-09 |
发明(设计)人: | 徐芳华;孙海梁;高杰;卫国军 | 申请(专利权)人: | 浙江精工科技股份有限公司;绍兴县精工机电研究所有限公司 |
主分类号: | F27B14/20 | 分类号: | F27B14/20 |
代理公司: | 浙江翔隆专利事务所 | 代理人: | 戴晓翔 |
地址: | 312030浙江省绍兴县*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统,属多晶硅铸锭炉的设计与制造技术领域,主要由底部带岩棉(10)的炉体(1),置于炉体内底部带保温底板(6)的保温笼体(5),置于保温笼体内带石英坩埚(2)和石墨坩埚(3)的热交换台(4),置于岩棉中部的中心护套(12)和凸台套管(11),开设于石墨坩埚底部两边的导流沟(13),开设于保温底板两边的导流孔(14),置于炉体底部的岩棉(10)上与导流孔(14)对应位置的硅液溢流承接容器(7),置于硅液溢流承接容器内带控制器(9)的金属熔断丝(8)等构成。通过由导流沟、导流孔、带金属熔断丝的硅液溢流承接容器构成的汇流导流系统的作用,能有效避免硅液对炉体的损伤。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 溢流 保护 系统 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统,包括炉体(1),置于炉体(1)内底部带保温底板(6)的保温笼体(5),置于保温笼体(5)内带石英坩埚(2)和石墨坩埚(3)的热交换台(4),其特征在于石墨坩埚(3)的底部两边开设有导流沟(13),保温底板(6)的两边开设有导流孔(14),炉体(1)的底部与导流孔(14)的对应位置设有硅液溢流承接容器(7),硅液溢流承接容器(7)内设有带控制器(9)的金属熔断丝(8)。
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