[发明专利]平板夹心结构的半导体式气体传感器及其制造方法

摘要

平板夹心结构的半导体式气体传感器及其制造方法，它涉及一种具有平板夹心结构的半导体式气体传感器及其制造方法，为了解决现有结构形式半导体式传感器的电阻大、电导率低、加热功耗高的问题。本发明的平板夹心结构的半导体式气体传感器的所述的基片上刻蚀有加热器，在绝缘隔离层上刻蚀有敏感电极，在加热器上镀绝缘隔离层，在敏感电极上镀有敏感膜，在敏感膜上设置多孔电极，其制造方法由基片选择与清洗、制作加热器、制作隔离层和制作敏感电极等步骤完成。本发明的平板夹心结构的半导体式气体传感器具有电阻小、电导率高、加热功耗低的优点，其制造方法具有制作工艺精度高的优点。

主权项

1、平板夹心结构的半导体式气体传感器，其特征在于它由基片(1)、加热器(2)、绝缘隔离层(3)、敏感电极(4)、敏感膜(5)和多孔电极(6)组成，所述基片(1)、加热器(2)、绝缘隔离层(3)、敏感电极(4)、敏感膜(5)和多孔电极(6)同中心且为规则形状，所述的基片(1)上刻蚀有加热器(2)，加热器(2)的长度与基片(1)的直径相等，在加热器(2)上镀绝缘隔离层(3)，在绝缘隔离层(3)上刻蚀有敏感电极(4)，敏感电极(4)的长度与基片(1)的直径相等，敏感电极(4)与加热器(2)相互垂直，绝缘隔离层(3)的面积大于加热器(2)与敏感电极(4)重叠部分的面积，绝缘隔离层(3)的面积小于基片(1)的面积，在敏感电极(4)上镀有敏感膜(5)，在敏感膜(5)上设置多孔电极(6)，所述敏感膜(5)与绝缘隔离层(3)的面积百分比为70％～90％，多孔电极(6)与敏感膜(5)的面积百分比为70％～90％。