[发明专利]微阵列轴孔的组合加工方法

摘要

微阵列轴孔的组合加工方法，它涉及以电解加工、微细电火花加工和超声复合等技术交叉融合的金属合金材料的微细阵列轴孔的组合加工工艺，为了解决现有微阵列轴孔加工工艺加工精度难以保证、加工效率低、形状复杂加工困难的问题。本发明首先通过电解加工制作单个微细电极，然后利用电解的方法使单个微细电极在平板电极上加工出微阵列母孔，该母孔是为了制作微阵列轴准备的，用微阵列母孔在圆柱电极上通过电火花反拷并复合有超声振动加工制作微细阵列轴，最后利用微细阵列轴和电解方法加工微阵列轴孔。本发明的微阵列轴孔的组合加工方法具有加工精度高、加工效率高、加工方便的优点。

主权项

1、微阵列轴孔的组合加工方法，其特征在于它由下列步骤完成：步骤一：将工件电极(5)安装在机床主轴(1)上，工件电极(5)为阳极，加工工具(6)为阴极，工件电极(5)与加工工具(6)设置在机床的工作平台上的电解液槽(2)内的电解液中，采用脉冲电源(3)供电，工件电极(5)与加工工具(6)进行相对靠近的移动，通过电压电流检测装置(4)对电压进行检测，当两极间电压为零，工件电极(5)和加工工具(6)完成接触感知，设置加工初始距离，主轴(1)带动工件电极(5)作绕轴心的旋转运动，通过电解加工工艺过程将工件电极(5)制作成微细电极；步骤二：用平板电极(7)替换加工工具(6)，交换脉冲电源(3)的正负极，则平板电极(7)为阳极，上述步骤加工后的工件电极(5)为阴极，所述的平板电极(7)通过超声波发生装置(11)的换能器(10)支撑水平放置在电解液槽(2)内的电解液中，工件电极(5)与平板电极(7)进行相对靠近的移动，通过电压电流检测装置(4)对电压进行检测，当两极间电压为零，工件电极(5)和平板电极(7)完成接触感知，设置加工初始距离，主轴(1)带动工件电极(5)作三轴运动，通过电解加工工艺过程在平板电极(7)上加工微阵列母孔，并在加工过程中通过超声波发生装置(11)的换能器(10)进行复合超声振动；步骤三：用圆柱电极(8)替换已加工成微细电极的工件电极(5)，交换脉冲电源(3)的正负极，则圆柱电极(8)为阳极，带有微阵列母孔的平板电极(7)为阴极，用带有微阵列母孔的平板电极(7)通过电火花加工将圆柱电极(8)制作成微细阵列轴，并在加工过程中通过超声波发生装置(11)的换能器(10)进行复合超声振动；步骤四：用不锈钢薄片(9)替换带有微阵列母孔的平板电极(7)，交换脉冲电源(3)的正负极，则不锈钢薄片(9)为阳极，已加工成微阵列轴的圆柱电极(8)为阴极，用已加工成微阵列轴的圆柱电极(8)在不锈钢薄片(9)上采用与步骤二相同的电解方法加工微阵列孔。