[发明专利]激光加工方法有效
申请号: | 200710073965.3 | 申请日: | 2007-04-06 |
公开(公告)号: | CN101279403A | 公开(公告)日: | 2008-10-08 |
发明(设计)人: | 傅承祖;黄俊凯;何仁钦;罗志刚;张坤旺 | 申请(专利权)人: | 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00;B23K26/42;B23K26/08;C03B33/00 |
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地址: | 201600上海市松江区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种激光加工方法,其包括步骤:提供一个待加工的脆性材料,其包括一个待加工面,一个第一表面及一个第二表面,所述第一表面与第二表面相对设置且分别与所述待加工面相交;在待加工面上形成不连续的预切割线,所述预切割线沿从所述第一表面到所述第二表面的方向延伸;经由激光束加热待加工面,所述激光束的加热路径与所述不连续的预切割线在同一条直线上;沿激光束的加热路径向待加工面喷射冷却流体以使待加工的脆性材料沿所述不连续的预切割线完全开裂。所述激光加工方法经由跳跃式切割在待加工的脆性材料上形成不连续的预切割线,可选择性地避免产生侧向裂痕,进而可使得切割后的脆性材料的强度以及四点弯曲测试中破坏荷载值得到有效提升。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种激光加工方法,其包括以下步骤:提供一个待加工的脆性材料,所述脆性材料包括一个待加工面,一个第一表面及一个第二表面,所述第一表面与第二表面相对设置且分别与所述待加工面相交;在所述待加工面上形成不连续的预切割线,所述预切割线沿从所述第一表面到所述第二表面的方向延伸;经由激光束加热待加工面,所述激光束的加热路径与所述不连续的预切割线在同一条直线上;沿激光束的加热路径向待加工面喷射冷却流体以使待加工的脆性材料沿所述不连续的预切割线完全开裂。
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