[发明专利]增进图案均匀度的方法

摘要

本发明是有关于一种增进图案均匀度的方法，适用于包含有图案密集区与图案半空旷区的基底。基底上已依序形成有阻绝层与底抗反射层。此方法是先在底抗反射层上形成一层图案化光阻层，图案化光阻层包括位于图案密集区的第一光阻图案，与位于图案半空旷区的第二光阻图案，其中，第二光阻图案的尺寸大于第一光阻图案的尺寸。之后，进行第一修剪步骤，微缩图案化光阻层，同时，以图案化光阻层为罩幕，移除部分底抗反射层。接着，进行第二修剪步骤，同时微缩图案化光阻层与底抗反射层，并且缩小第二光阻图案与第一光阻图案的尺寸差。本发明具有增进图案均匀度的功效。

主权项

1. 一种增进图案均匀度的方法，适用于一基底，该基底包括一图案密集区与一图案半空旷区，且该基底上已依序形成有一阻绝层与一底抗反射层，其特征在于该方法包括：在该底抗反射层上形成一图案化光阻层，该图案化光阻层包括：一第一光阻图案，位于该图案密集区；以及一第二光阻图案，位于该图案半空旷区，其中，该第二光阻图案的尺寸大于该第一光阻图案的尺寸；进行一第一修剪步骤，微缩该图案化光阻层，同时，以该图案化光阻层为罩幕，移除部分该底抗反射层；以及进行一第二修剪步骤，同时微缩该图案化光阻层与该底抗反射层，以缩小该第二光阻图案与该第一光阻图案的尺寸差。