[发明专利]制作感光间隙子的方法无效

专利信息
申请号: 200710079801.1 申请日: 2007-02-14
公开(公告)号: CN101246285A 公开(公告)日: 2008-08-20
发明(设计)人: 罗大裕;陈建凯 申请(专利权)人: 展茂光电股份有限公司
主分类号: G02F1/1339 分类号: G02F1/1339;G02F1/1335;G02F1/1333;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人: 徐金国;梁挥
地址: 中国台湾桃*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种制作感光间隙子的方法,该方法首先利用光刻工艺,在透明基板上形成具有多个间隙子与彩色层开孔的黑色矩阵基板,再在黑色矩阵基板上形成彩色滤光层,然后在黑色矩阵基板与彩色滤光层上形成透明导电层。接着在透明导电层上涂敷感光间隔材料,并直接以黑色矩阵作为掩模进行背面曝光交联工序,从透明基板下方照射紫外线,并透过黑色矩阵的间隙子开口区定义图形,使感光间隔材料交联,再经由显影及烘烤步骤后形成间隙子层。
搜索关键词: 制作 感光 间隙 方法
【主权项】:
1. 一种制作感光间隙子的方法,其特征在于,该方法包含:提供一透明基板;提供一掩模,用以制作黑色矩阵,该掩模上具有多个间隙子开口区及多个彩色层开口区;使用该掩模形成一黑色矩阵基板,具有多个间隙子开孔及多个彩色层开孔;在该黑色矩阵基板上形成一彩色滤光层;在该黑色矩阵基板及该彩色滤光层上形成一透明导电层;在该透明导电层上涂敷一感光间隔材料;以该黑色矩阵基板为掩模,透过该透明基板使紫外线照射该感光间隔材料,进行一背面曝光交联制程;显影该交联的感光间隔材料;以及烘烤该显影的感光间隔材料,以形成一间隙子层。
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