[发明专利]研磨装置及其自动化研磨方法无效
| 申请号： | 200710084325.2 | 申请日： | 2007-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN101045282A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 储中文;刘昱辰;卢聪林;刘荣其;吴哲耀 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/24 | 分类号： | B24B7/24;B24B53/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种研磨装置及其自动化研磨方法。该研磨装置包含具有研磨面的研磨盘以及具有修整面的修整盘，修整面的直径介于研磨面直径的1/5与2/3之间。本发明的自动化研磨方法首先将修整面与研磨面相互接触，并利用修整盘对研磨面执行第一修整动作以将研磨面的特定区域平坦化，接着再利用修整盘对研磨面执行修整时间约两倍于第一修整动作的第二修整动作以将研磨面完整平坦化，于第二修整动作中，修整盘藉由跨过研磨面中心摆动的运作修整研磨面。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 及其 自动化 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，包含：研磨盘，具有研磨面；以及修整盘，具有修整面，并与该研磨面相互接触，其中，该修整盘利用跨过该研磨面中心摆动的运作，以修整该研磨面。
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