[发明专利]清洁装置、清洁方法、及产品制造方法无效
| 申请号： | 200710085040.0 | 申请日： | 2007-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN101028624A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 野村进直;柳田芳明 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/00;B08B7/04;B08B3/12;B24C1/00;B24C5/00;G11B5/127 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张龙哺 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清洁装置，其设置有多个清洁机构，例如吹送单元、振动刷洗单元、和脉冲喷射单元。在清洁容器内存储的清洁液内，通过吹送单元和振动刷洗单元对物件进行清洁，以防止静电放电(ESD)击穿。在物件从清洁液中取出之后，通过脉冲喷射单元对物件进行清洁，因此，可以防止清洁液内存留的污染物再次附着到物件上。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 方法 产品 制造 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洁物件的清洁装置，包括：清洁容器，其存储液体；以及喷射单元，其喷射含有磨料粒子的清洁液；其中，在清洁所述物件的过程中，所述清洁装置将所述物件定位于存储在所述清洁容器内的液体内，并且从所述喷射单元向所述液体内的所述物件喷射清洁液。
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