[发明专利]非晶质碳系硬质多层膜和表面上具有该膜的硬质表面部件

摘要

本发明提供一种在高温下具有优异粘合性的非晶质碳(DLC)膜。一种形成于基材表面上的非晶质碳系硬质多层膜包含：在基材侧形成的基底层；在表面侧形成的表面层；以及在基底层与表面层之间形成的组成变化层，其中，所述基底层包含下式(1)所示的元素M的氮化物或碳－氮化物，所述表面层包含含有50原子％或更高的C的非晶质碳膜，以及所述组成变化层是从基底层到非晶质碳膜，元素M和氮减少而碳增加的层：M_1－x－yC_xN_y…(1)，(其中，M是选自元素周期表中的4A族元素、5A族元素、6A族元素、Al和Si中的至少一种元素；并且其中式中的x和y表示原子比，x为0.5或更小，y为0.03或更大，并且1－x－y大于0)。

主权项

1.一种形成于基材上的非晶质碳系硬质多层膜，其特征在于，包含：在基材侧形成的基底层；在表面侧形成的表面层；以及在基底层与表面层之间形成的组成变化层，其中，所述基底层包含下式(1)所示的元素M的氮化物或碳-氮化物，所述表面层包含含有50原子％或更高的C的非晶质碳膜，以及所述组成变化层是从基底层到非晶质碳膜，元素M和氮减少而碳增加的层：M1-x-yCxNy…(1)，(其中，M是选自元素周期表中的4A族元素、5A族元素、6A族元素、Al和Si中的至少一种元素；并且其中x和y表示原子比，x为0.5或更小，y为0.03或更大，且1-x-y大于0)。