[发明专利]搬送装置及真空处理装置无效
| 申请号： | 200710088653.X | 申请日： | 2007-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN101038447A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 村山升 | 申请（专利权）人： | 株式会社理光 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G11B7/26;B65H5/00;B65G47/74 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民;张惠萍 |
| 地址： | 日本东京都大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，实现简化电子束描画装置用的搬送装置。解决手段是：所述装置含有具备使搬送装置(100)可在水平方向上相互滑动的第1滑动台(53A)和第2滑动台(53B)的多级滑块(50)、分别将第1滑动台(53A)和第2滑动台(53B)向着X轴方向驱动的同步机构臂(70)而构成。利用开闭单元(60)使同步机构臂(70)伸长或伸缩，藉此汇总驱动多个第1滑动台(53A)和第2滑动台(53B)。由此，不必对多个第1滑动台(53A)和第2滑动台(53B)个别进行控制，能够使搬送装置(100)的驱动简单化。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 真空 处理 | ||
【主权项】：
1.一种搬送装置，搬送被搬送体，其特征在于：所述搬送装置具备：伸缩机构，使多个相互可转动地交叉的连杆对在向水平方向内的规定方向上作缩放仪状连接；多级滑块，包括固定在所述伸缩机构的一端、可保持所述被搬送体的移载滑块、以及可相对于所述移载滑块在所述规定方向上相对移动的至少一个滑块；驱动机构，通过使所述交叉的连杆对的相对角度改变，使所述伸缩机构伸缩。
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