[发明专利]测试装置与其探针结构有效
| 申请号： | 200710088841.2 | 申请日： | 2007-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101275970A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 巫家玮 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾桃园县龟山*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种分离式结构的探针，用来接触一待测物，以对其电气特性进行探测。本发明所提供的探针具有一接触头，可以用来接触待测物，并且此探针具有一第一针体和一第二针体。其中，第一针体与接触头互相连接，以传送一测试讯号到待测物上来进行探测。另外，第二针体也连接到接触头，其用来传送待测物因为测试讯号所产生的一回应讯号，以获得待测物的电气特性。本发明所提供的探针具有较小的讯号衰减度，进而使本发明提供的侦测装置能够较精确地量测待测物的电气特性。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 装置 与其 探针 结构 | ||
【主权项】：
1. 一种分离式结构的探针，适于接触一待测物，以对该待测物的电气特性进行探测，其特征在于该探针具有：一接触头，用以接触该待测物；一第一针体，连接该接触头，用以传送一测试讯号到该待测物来进行探测；以及一第二针体，连接该接触头，用以传送该待测物对该测试讯号所产生的一回应讯号。
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