[发明专利]用于溅射靶的PTF测量自动化的方法和装置无效
| 申请号： | 200710089497.9 | 申请日： | 2007-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN101187648A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | R·D·罗杰 | 申请（专利权）人： | 贺利氏有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/82 | 分类号： | G01N27/82;G01N27/72 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于确定溅射靶的穿过通量(PTF)的自动化装置和方法，这是通过以下方式实现的：在所述溅射靶的第一侧生成磁场，使所述磁场通过所述溅射靶并穿过所述溅射靶的第二侧，用磁场检测器在所述溅射靶的所述第二侧测量磁场，并在测量过程中用自动化台移动所述溅射靶或磁场检测器之一或两者。在本发明的各个实施例中，所述自动化装置和方法可以生成所述溅射靶的图。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 溅射 ptf 测量 自动化 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定溅射靶的穿过通量的装置，包括：(a)磁源，其产生通过所述溅射靶的磁场；(b)磁场检测器，其被配置成测量所述磁场；和(c)自动化台，其被配置成移动所述溅射靶或所述磁场检测器或其两者。
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