[发明专利]用于PTF测量架的磁场检测器固定组件装置无效
| 申请号： | 200710089498.3 | 申请日： | 2007-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN101206250A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | R·D·罗杰 | 申请（专利权）人： | 贺利氏有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02;G01D11/30;C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种磁场检测器固定组件装置，其用于对溅射靶进行测量的人工操作或自动化穿过通量(PTF)测量架。所述磁场检测器固定组件装置具有带纵向开口的垫圈，而所述垫圈的所述开口允许磁场检测器被定位。至少一个紧固件穿过所述磁场检测器固定装置的至少一个开口，而其中所述紧固件适于被调节以机械连接所述垫圈，以便将所述垫圈固定在所述磁场检测器固定组件内的预定位置。所述垫圈防止所述磁场检测器由于过度拧紧紧固件而被损害，并且还防止划伤待测试的溅射靶的表面。所述磁场检测器固定组件可以用于人工操作的机械PTF架或自动化PTF架。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 ptf 测量 磁场 检测器 固定 组件 装置 | ||
【主权项】：
1.一种磁场检测器固定组件装置，其用于对靶进行测量的穿过通量测量装置，所述磁场检测器固定组件装置包括：具有纵向开口的垫圈，其中所述垫圈的所述开口允许磁场检测器被定位，且其中所述垫圈被定位在所述磁场检测器固定组件内；和至少一个紧固件，其中所述至少一个紧固件穿过所述磁场检测器固定组件中的至少一个开口，且其中所述紧固件适于被调节以机械连接所述垫圈，以便将所述垫圈固定在所述磁场检测器固定组件内的预定位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于贺利氏有限公司，未经贺利氏有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710089498.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
