[发明专利]光致抗蚀剂剥离装置、再循环光致抗蚀剂剥离剂的方法无效
| 申请号： | 200710089842.9 | 申请日： | 2007-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN101051190A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 朴弘植;郑钟铉;洪瑄英;金俸均;申原硕;李炳珍 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种光致抗蚀剂PR剥离装置，其可以再循环光致抗蚀剂剥离剂且在过滤器操作期间实现连续的过滤动作。该PR剥离装置包括：PR剥离槽，用于接收具有PR图案的基板且用于该PR图案的剥离；PR剥离剂回收管，用于接收来自PR剥离槽的PR剥离剂；两个或更多过滤器单元，用于过滤通过PR剥离剂回收管返回的PR剥离剂；以及PR剥离剂供给管，用于向PR剥离槽供给过滤的PR剥离剂。所述两个或更多过滤器单元彼此并联连接在PR剥离剂回收管和PR剥离剂供给管之间。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 剥离 装置 再循环 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂PR剥离装置，包括：PR剥离槽，其中设置具有PR图案的基板且进行所述PR图案的剥离；PR剥离剂回收管，连接到所述剥离槽的出口用于从该PR剥离槽接收PR剥离剂；多个过滤器单元，具有连接到该PR剥离剂回收管的入口、和出口，所述多个过滤器单元用来过滤从该PR剥离剂回收管接收的所述PR剥离剂；以及PR剥离剂供给管，连接到所述过滤器单元的所述出口用于接收过滤的PR剥离剂且将所述过滤的PR剥离剂供给到PR剥离槽的入口，其中所述多个过滤器单元并联连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社，未经三星电子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710089842.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
