[发明专利]一种圆形阴极表面弧斑受程控复合磁场控制的蒸发离化源无效
| 申请号： | 200710090254.7 | 申请日： | 2007-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN101289737A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒;金佑民 | 申请（专利权）人： | 王殿儒 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100095北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种采用程控复合磁场，即按设定程序调整的电磁场和永久磁场叠加成的程控复合磁场，来控制圆形阴极表面上弧斑运动轨迹的蒸发离化源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆形 阴极 表面 弧斑受 程控 复合 磁场 控制 蒸发 离化源 | ||
【主权项】：
1.一种采用程控复合磁场，即按设定程序调整的电磁场和永久磁场叠加成程控复合磁场，来控制弧斑运动的蒸发离化源，其特征是圆形阴极表面上以圆形表面中心为轴心的环状弧斑呈现直径不断扩大或收缩的环状弧斑轨迹，使弧斑对表面烧蚀均匀。又由于环状弧斑的扩大或收缩速率受设定程序调整的电磁场和永久磁场叠加成程控复合磁场的控制，可调节到使该速率限制在较低速范围内，也可调节到在需要多些烧蚀的径向位置上令弧斑多些时间逗留，从而使蒸发离化的金属粒子细化，并使阴极表面上烧蚀均匀。
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