[发明专利]光波导器件及其制造方法有效
| 申请号： | 200710090483.9 | 申请日： | 2007-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN101059586A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 渡边真也;佐久间直树 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/13;G02B6/132 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种包括光波导部分和光器件安装部分的光波导器件。在高温退火后对形成其上要安装发光器件的底座块的掩膜进行图案化。因此即使器件在制造过程中经历高温热处理，掩膜也不会受到影响。这使得可以非常精确地形成底座块。因此，可以在把发光器件安装在底座块上时实现非常精确的光耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光波导器件，包括：光波导部分，包括下覆层、核心层和上覆层；以及光波导部分，包括底座块、由所述底座块上形成的薄膜构成的掩膜，和与所述掩膜相接触的光器件。
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