[发明专利]驱动装置、液体喷头及液体喷射装置有效
申请号: | 200710091649.9 | 申请日: | 2007-04-03 |
公开(公告)号: | CN101051669A | 公开(公告)日: | 2007-10-10 |
发明(设计)人: | 高部本规;角浩二;野口元久;横山直人;齐藤刚 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08;H01L41/09;H01L41/047;B41J2/14;B41J2/045 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种驱动装置、液体喷头及液体喷射装置,该驱动装置,具备变位自如地设置在基板(10)上且由下电极(60)、压电体层(70)及上电极(80)构成的压电元件(300),并且,使所述下电极(60)的杨氏模量为200Gpa以上,从而防止因压电元件(300)的反复驱动引起的变位降低。 | ||
搜索关键词: | 驱动 装置 液体 喷头 喷射 | ||
【主权项】:
1、一种驱动装置,其中,具备变位自如地设置在基板上且由下电极、压电体层及上电极构成的压电元件,并且,所述下电极的杨氏模量为200Gpa以上。
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