[发明专利]晶圆特性测试中探针卡测试仪和探针卡使用量的计数方法有效
| 申请号： | 200710094275.6 | 申请日： | 2007-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN101441625A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 戴伟 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/30 | 分类号： | G06F17/30;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾继光 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆特性测试中探针卡测试仪，包括探针卡用量数据库和测试条件数据库，所述探针卡用量数据库与所述测试条件数据库通过探针卡型号信息相互关联。本发明还公开了一种利用上述探针卡测试仪实现的晶圆特性测试中探针卡使用量的计数方法，所述测试仪取得所述测试条件信息以及所使用的探针卡型号的信息，在所述测试条件数据库中查询到所述探针卡单次使用量的信息，然后通过所述探针卡型号的信息关联到所述探针卡用量数据库，得到累计使用量信息，并进行存储。本发明按照实际使用条件客观地统计了探针卡的使用次数，起到了有效监控探针卡使用状态的作用，配合探针卡的定期维护和使用寿命管理，提高了自动化生产中探针卡的管理水平。 | ||
| 搜索关键词： | 特性 测试 探针 测试仪 使用 计数 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种晶圆特性测试中探针卡测试仪，其特征在于，包括探针卡用量数据库和测试条件数据库，所述探针卡用量数据库中包含有探针卡型号信息，以及与所述探针卡型号相对应的累计使用量信息；所述测试条件数据库中包含有探针卡型号信息，以及与所述探针卡型号信息相对应的各种测试条件的信息，以及与所述各种测试条件信息相对应的在该测试条件下探针卡单次使用量的信息；所述探针卡用量数据库与所述测试条件数据库通过探针卡型号信息相互关联。
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