[发明专利]PN结变容管及其品质因数的提取方法无效

专利信息
申请号: 200710094321.2 申请日: 2007-11-28
公开(公告)号: CN101452968A 公开(公告)日: 2009-06-10
发明(设计)人: 周天舒 申请(专利权)人: 上海华虹NEC电子有限公司
主分类号: H01L29/93 分类号: H01L29/93;H01L21/329;H01L21/66;G01R31/26
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人: 周 赤
地址: 201206上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种PN结变容管,包括P衬底、P衬底表面通过注入N型离子形成的一个N型深阱、N型深阱表面通过注入P型离子形成的一个P阱、及P阱表面通过注入N型离子形成的一个N+区。本发明还公开了一种基于上述PN结变容管结构的品质因数的提取方法。因为本发明将常规PN结变容管物理结构(P+/N阱)改为N+/P阱结构,同时,加入一个新设计的N型深阱结构。这样,变容管的偏压可从N+端加入,但器件的品质因数仍可从无漏电的N+端加以提取,由此,可以有效提高PN结变容管的品质因数提取的精度和效率。
搜索关键词: pn 结变容管 及其 品质因数 提取 方法
【主权项】:
1、一种PN结变容管;其特征在于,包括:P衬底、所述P衬底表面通过注入N型离子形成的一个N型深阱、所述N型深阱表面通过注入P型离子形成的一个P阱、及所述P阱表面通过注入N型离子形成的一个N+区。
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