[发明专利]制造机台的监测数据处理方法和装置、监控方法和系统有效
| 申请号： | 200710094401.8 | 申请日： | 2007-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101452272A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 李武;方利 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/048 | 分类号： | G05B19/048;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种制造机台的监测数据处理方法和装置、监控方法和系统，所述装置包括：获取单元，获取在制品的性能参数的测量值；判断单元，判断测量值是否是需要计算的测量值，并在测量值是需要计算的测量值时，判断其是制造机台处理前还是处理后的测量值；暂存单元，暂存制造机台处理前的测量值；计算单元，根据处理后的测量值和对应的处理前的测量值，计算在制品的性能参数的计算值；记录单元，在测量值是不需要计算的测量值时，将在制品的性能参数的测量值作为制造机台的监测数据记录，在测量值是制造机台处理后的测量值时，将在制品的性能参数的计算值作为制造机台的监测数据记录。本发明可使制造机台的监控一体化，并提高了监控过程的准确性和时效性。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 机台 监测 数据处理 方法 装置 监控 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种制造机台的监测数据处理方法，其特征在于，包括下述步骤：获取在制品的性能参数的测量值；判断所述测量值是不需要还是需要计算的测量值；若所述测量值是不需要计算的测量值，则将所述在制品的性能参数的测量值作为制造机台的监测数据记录；若所述测量值是需要计算的测量值，则判断所述测量值是制造机台处理前还是处理后的测量值；若所述测量值是制造机台处理前的测量值，则暂存所述测量值；若所述测量值是制造机台处理后的测量值，则根据所述处理后的测量值和对应的处理前的测量值，计算在制品的性能参数的计算值；将所述在制品的性能参数的计算值作为制造机台的监测数据记录。
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