[发明专利]统计过程控制方法及装置无效
| 申请号： | 200710094481.7 | 申请日： | 2007-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101458513A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 杨斯元 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G06Q10/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种统计过程控制方法及装置，所述统计过程控制方法包括应用界限对测量数据进行失控分析，所述界限通过下述方法获得：设定容限系数；根据标准正态累积分布函数获得对应所设定的容限系数的正态分布概率值；根据百分位数函数和所述测量数据获得对应所述正态分布概率值的界限。由于以百分位数函数所得界限对测量数据进行失控分析既可适用于数据为正态分布的情况，也可适用于数据为非正态分布的情况，还可适用于数据为双峰或多峰且非正态分布的情况，因而所述统计过程控制方法及装置解决了现有技术统计过程控制方法不适用于非正态分布数据的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 统计 过程 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种统计过程控制方法，其特征在于，包括应用界限对测量数据进行失控分析，所述界限通过下述方法获得：设定容限系数；根据标准正态累积分布函数获得对应所设定的容限系数的正态分布概率值；根据百分位数函数和所述测量数据获得对应所述正态分布概率值的界限。
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