[发明专利]灰化的方法有效
| 申请号： | 200710094490.6 | 申请日： | 2007-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101458463A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 周鸣;尹晓明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/36;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种灰化的方法，包括在干法蚀刻之后，灰化去除光刻胶之前，向光刻胶通入含氢气体软化光刻胶。所述灰化方法避免了由于光刻胶变硬而无法在灰化过程中完全去除的情况，从而避免了残留的光刻胶对器件性能产生影响。 | ||
| 搜索关键词： | 灰化 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种灰化的方法，其特征在于，包括，在干法蚀刻之后，灰化去除光刻胶之前，向光刻胶通入含氢气体软化光刻胶。
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