[发明专利]预处理TEM样品以及对样品进行TEM测试的方法有效
| 申请号： | 200710094500.6 | 申请日： | 2007-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101458180A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 张启华;周晶;苏婕;于会生 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N13/10;G01B21/00;H01L21/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种预处理TEM样品的方法，在样品表面形成与样品表面结合紧密、且不与样品表面的物质发生反应的有机物膜层。所述的有机物膜层为聚乙烯醇缩甲醛膜或者M-bond膜。采用本发明所述的方法在样品表面形成有机物膜层，有效解决了现有技术中采用FIB方法对TEM样品进行切割时对样品的损伤，而且，所述有机物膜层的选择范围广，制作方法简单。 | ||
| 搜索关键词： | 预处理 tem 样品 以及 进行 测试 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种预处理TEM样品的方法，其特征在于，在样品表面形成与样品表面结合紧密、且不与样品表面的物质发生反应的有机物膜层。
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