[发明专利]热处理炉、平板显示元件制造装置、方法及平板显示元件无效
| 申请号： | 200710095801.0 | 申请日： | 2007-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN101050922A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 李圣贤;李原荣;俞载元;申承协;金柄郁 | 申请（专利权）人： | 东进世美肯株式会社 |
| 主分类号： | F27D11/12 | 分类号： | F27D11/12;H01J9/00;G02F1/1343;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种热处理炉、平板显示元件制造装置、方法及平板显示元件，可在常压下以密闭和开放的结构应用，可连续地进行工序进程，减少待机时间，从而减少工序时间，具有提高效率和节约费用的效果，与使用现有方式的热处理工序相比，曝露在高温中的时间显著减少，所以可以减少高温工序时基板的热膨胀/收缩造成的损伤，在减少不良率的同时，具有增加形成在基板上的材料层的致密度的效果。所述热处理炉包括：产生微波的磁控管；对所述磁控管所产生的微波进行传导的波导管；以及放电管，其根据通过所述波导管传导的微波和气体供给装置供给的气体来形成微波等离子体，并放出所述形成的等离子体，使其照射到涂布有构造物形成材料层的面板上。 | ||
| 搜索关键词： | 热处理 平板 显示 元件 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种平板显示元件制造用热处理炉，该热处理炉对用于制造平板显示元件的面板上所形成的构造物形成材料层进行热处理，以形成必要的构造物，其特征在于：所述热处理炉包括：产生微波的磁控管；对所述磁控管所产生的微波进行传导的波导管；以及放电管，其根据通过所述波导管传导的微波和气体供给装置供给的气体来形成微波等离子体，并放出所述形成的等离子体，使其照射到用于制造所述平板显示元件的、形成有构造物形成材料层的面板上。
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