[发明专利]微型探针导向装置的制造方法以及微型探针单元无效
| 申请号： | 200710095827.5 | 申请日： | 2007-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN101051056A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 渊山正毅;大贝努;卞秀龙;李芝弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社东京阴极研究所 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 曲折状配置型微型探针单元(40)由上侧微型探针单元(42)和下侧微型探针单元(44)背对组合构成；上侧微型探针单元(42)由具有多个凹槽(72)的微型探针导向装置(70)、以及分别配置于各凹槽(72)的微型探针(50)所构成，下侧微型探针单元(44)也为同样的结构。具有多个凹槽(72)的微型探针导向装置(70)、(71)采用非均质蚀刻的方法，在硅板上以与微型探针(50)、(51)的轴部高度和宽度相对应的槽深、槽宽，形成细长的深槽。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 探针 导向 装置 制造 方法 以及 单元 | ||
【主权项】：
1.本发明提供一种微型探针导向装置的制造方法，其为一种保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法，其特征在于，包括通过非均质蚀刻在基板上形成微型探针导向凹槽的工序，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深。
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