[发明专利]确认维修站及用以标记基板为缺陷的方法无效
| 申请号： | 200710096919.5 | 申请日： | 2007-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101042356A | 公开（公告）日： | 2007-09-26 |
| 发明（设计）人： | 苏洹漳 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01R31/308;H05K13/06;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾高雄市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种确认维修站，适于确认一待检测基板上的缺陷是否为一真实缺陷，其特征在于：此确认维修站包括一激光装置，当确认维修站确认此缺陷为真实缺陷时，利用此激光装置烧蚀掉基板上连接于此缺陷的线路。 | ||
| 搜索关键词： | 确认 维修 用以 标记 缺陷 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用以标记基板为缺陷的方法，其特征在于包括以下步骤：提供一待检测的基板，该基板的一表面具有一电镀线以及连接于该电镀线的一线路；利用一自动光学检测系统检测该基板，并将该基板上所侦测到的一缺陷储存于一计算机中；将该基板传输至一确认维修站，该确认维修站将所侦测到的该缺陷与一参考影像相比对，以确认该自动光学检测系统所侦测到的该缺陷是否为一真实缺陷；以及当确认该缺陷为该真实缺陷时，利用一激光烧蚀掉该基板上连接于该电镀线的该线路。
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