[发明专利]狭缝式涂敷装置

摘要

本发明公开一种狭缝式涂敷装置，其适于在平板显示器用基板上涂敷照相平版印刷用光致抗蚀剂等感光液的涂敷作业，且可简单除去不均匀地附着在喷嘴吐出口上的感光液，包括：工作台，其工作面上进行对基板的涂敷作业；具有狭缝式吐出口的喷嘴本体，其固定在工作台的一侧，对基板涂敷感光液；清洗辊轮，具有圆筒形清洗部件，且以横穿吐出口切开方向的方式位于该喷嘴本体的下方；第一驱动部，用于向某一方向转动清洗辊轮，使清洗部件以其轴线为中心旋转；第二驱动部，用于移动清洗辊轮，使清洗辊轮在第一驱动部的作用下旋转的同时，沿吐出口的切开方向移动；第三驱动部，其与第一驱动部及第二驱动部相连动，使清洗辊轮向直交于吐出口狭缝的方向移动。

主权项

1.一种狭缝式涂敷装置，其特征在于，该涂敷装置包括：工作台，其工作面上进行对基板的涂敷作业；喷嘴本体，其具有狭缝式吐出口，且固定在所述工作台的一侧，并且对沿所述工作面移动的基板涂敷感光液；清洗辊轮，其具有圆筒形清洗部件，且以横穿吐出口切开方向的方式位于所述喷嘴本体的下方；第一驱动部，其用于向一个方向转动所述清洗辊轮，使圆筒形清洗部件以其轴线为中心旋转；第二驱动部，其用于移动所述清洗辊轮，以使所述清洗辊轮在第一驱动部的驱动作用下旋转的同时，沿所述吐出口的切开方向移动；第三驱动部，其与第一驱动部及第二驱动部相连动，以使所述清洗辊轮向直交于所述吐出口狭缝的方向移动。