[发明专利]一种用于颗粒表面改性的等离子镀膜装置

摘要

本发明涉及一种用于颗粒表面改性的等离子镀膜装置，包括反应室、射频电源、单体蒸气产生瓶、介质气体瓶和真空泵；所述单体蒸气产生瓶、介质气体瓶和真空泵分别通过管道与反应室连接，所述射频电源连接一射频放电线圈，该射频放电线圈缠绕在反应室容器的外壁上。本发明能够达到如下技术效果：实现颗粒表面均匀可控的等离子镀膜；薄膜成分多样化；薄膜厚度在几纳米到数微米之间可控；薄膜连续、无针孔、三维交联；能为特定用途的颗粒表面镀上特定的薄膜。

主权项

1、一种用于颗粒表面改性的等离子镀膜装置，包括反应室(4)、射频电源(5)、单体蒸气产生瓶(1)、介质气体瓶和真空泵(7)；所述单体蒸气产生瓶(1)、介质气体瓶和真空泵(7)分别通过管道与反应室(4)连接，所述射频电源(5)连接一射频放电线圈，该射频放电线圈缠绕在反应室(4)容器的外壁上；所述介质气体瓶中的介质气体是氦气、氖气、氩气、氪气、氙气或氮气。