[发明专利]一种灵敏大信号输出微型压力传感器有效
| 申请号： | 200710099061.8 | 申请日： | 2007-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN101303240A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 姜岩峰 | 申请（专利权）人： | 北方工业大学 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24;G01L1/14 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇 |
| 地址： | 100041*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施方式提供了一种灵敏大信号输出微型压力传感器，具体是将传感器电容部分的导电浮动层调整延伸到MOSFET器件的栅绝缘层，形成MOSFET器件的浮栅，从而将传感器的电容部分与下面的MOSFET器件分离，使传感器电容部分的结构尺寸对MOSFET器件没有任何影响，这样MOSFET器件就能制作成较小的尺寸，适合在微/纳级系统中使用；同时还能够有效克服器件的短沟道效应，改善电路的模拟属性，使其具有较大的放大倍数，可以直接完成信号的放大，并且避免使用高介质的材料，降低了传感器开发应用的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏 信号 输出 微型 压力传感器 | ||
【主权项】：
1、一种灵敏大信号输出微型压力传感器，包括传感器电容部分和金属氧化物半导体场效应晶体管MOSFET器件，其特征在于：所述传感器电容部分的导电浮动层调整延伸到MOSFET器件的栅绝缘层，形成MOSFET器件的浮栅。
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