[发明专利]图案形成方法、液滴喷出装置及电路组件无效
| 申请号： | 200710101091.8 | 申请日： | 2007-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN101062625A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 三浦弘纲 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J3/407 | 分类号： | B41J3/407;B41J2/01;B41J29/393;H01R12/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种图案形成方法、液滴喷出装置及电路组件。其中搭载于滑架(20)的反射镜(27)反射半导体激光器(LD)射出的激光，作为沿近似扫描方向的第一照射光(Le1)，照射液状膜(FL)的第一照射位置(P1)。而且，搭载于滑架(20)的凹面镜(29)反射来自第一照射位置(P1)的反射散射光(Lr)，作为沿近似扫描方向的第二照射光(Le2)再次照射液状膜(FL)的第二照射位置(P2)。因此，可以提高液滴的干燥效率，可以降低由液滴构成的图案的形成不良。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 喷出 装置 电路 组件 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成方法，将图案形成材料形成为液滴喷到基板上，对弹落在所述基板上的液滴进行干燥，在所述基板上形成图案，该图案形成方法为：将激光源所射出的激光照射到液滴的区域，并且将从液滴的区域反射或散射的激光再次反射照射到液滴的区域，使液滴干燥。
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