[发明专利]包括蚀刻装置和清洗装置的干蚀刻机无效
| 申请号： | 200710102093.9 | 申请日： | 2007-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN101117714A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 崔载铉 | 申请（专利权）人： | 株式会社细美事 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 韩国忠清南*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供一种包括蚀刻装置和清洗装置的干蚀刻机，更具体地说，提供一种增加了清洗工序以用于金属层蚀刻工艺的、包括蚀刻装置和清洗装置的干蚀刻机。该干蚀刻机包括蚀刻装置，其中注入蚀刻气体以蚀刻形成于基板上的层，传送经蚀刻装置处理的基板的基板传送装置，以及清洗经基板传送装置传送的基板的清洗装置。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 蚀刻 装置 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种干蚀刻机，包括蚀刻装置和清洗装置，该干蚀刻机包含：蚀刻装置，其中注入蚀刻气体以蚀刻形成于基板上的层；基板传送装置，其传送经蚀刻装置处理的基板；以及清洗装置，其清洗经基板传送装置传送的基板。
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