[发明专利]检查装置和检查方法有效
| 申请号： | 200710102312.3 | 申请日： | 2007-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101063609A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 尾内敏彦;笠井信太郎 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00;G01N21/00;G01N22/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种检查装置包括：用于传播电磁波的传输线；用于向传输线提供太赫兹波的电磁波提供单元；用于检测来自传输线的太赫兹波的电磁波检测单元；导电区域；检查对象提供单元；以及沉积单元。导电区域布置在包括通过传输线传播的电磁波的电场分布所延伸到的范围的至少一部分的位置上。检查对象提供单元保持检查对象并向外提供该检查对象，沉积单元通过静电力将检查对象选择性地沉积在导电区域上。由电磁波检测单元检测从电磁波提供单元提供并通过传输线传播的电磁波，以获得该检查对象的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，包括：传输线，用于传播电磁波；电磁波提供单元，用于向传输线提供电磁波，该电磁波的波长范围在30GHz到30THz之间；电磁波检测单元，用于检测来自传输线的电磁波；导电区域，布置在包括通过传输线传播的电磁波的电场分布所延伸到的范围的至少一部分的位置上；检查对象提供单元，用于保持检查对象并向外提供该检查对象；以及沉积单元，用于通过静电力将从检查对象提供单元提供的检查对象选择性地沉积在所述导电区域上，其中，由电磁波检测单元检测从电磁波提供单元提供并通过所述传输线传播的电磁波，以获得该检查对象的信息。
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