[发明专利]用于薄膜沉积的旋转式蒸发器及使用其的薄膜沉积装置无效
| 申请号： | 200710103759.2 | 申请日： | 2007-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN101109067A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 金庚皓 | 申请（专利权）人： | 株式会社细美事 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 韩国忠清南*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于薄膜沉积的旋转式蒸发器及使用其的薄膜沉积装置。该旋转式蒸发器包括具有开口的上表面、内部填充沉积原料的熔炉，加热熔炉的加热单元，以及通过外部提供的预定电力使蒸发器旋转的旋转单元。该使用旋转式蒸发器的薄膜沉积装置，包括用于接受沉积的基板，与基板相连接的掩膜，其用于覆盖基板的一部分使之免受沉积并使基板上需要的部分进行沉积，支承基板和掩膜的基板夹具系统以及利用旋转单元进行旋转的蒸发器。该旋转单元包括具有开口的上表面、内部填充沉积原料的熔炉和加热熔炉的加热单元。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄膜 沉积 旋转 蒸发器 使用 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于薄膜沉积的旋转式蒸发器，该蒸发器包含：具有开口的上表面、内部填充沉积原料的熔炉；加热熔炉的加热单元；以及利用外部供应的预定电力使蒸发器旋转的旋转单元。
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