[发明专利]用于扫描探测器显微镜的自找正的扫描探测器无效
申请号: | 200710104562.0 | 申请日: | 2007-05-25 |
公开(公告)号: | CN101110277A | 公开(公告)日: | 2008-01-23 |
发明(设计)人: | T·苏尔兹巴克;M·德特贝克;M·布里;C·里克特;H·-J·卢德格 | 申请(专利权)人: | 纳米世界股份公司 |
主分类号: | G12B21/00 | 分类号: | G12B21/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 曹若;赵辛 |
地址: | 瑞士纳*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | 本发明涉及用于扫描探测器显微镜的自找正的扫描探测器,它具有不同长度(14)的微悬臂梁(4),在该微悬臂梁的一端(5)上设置有用于扫描试样的扫描尖端(6),并在其另一端(13)上设置有固定部件(2),该固定部件用于在固定于探测器夹持装置上的支承部件(3)上对扫描探测器进行可拆卸的固定,在固定部件(2)和支承部件(3)上各自构造有相应的找正机构,它们在同支承部件相耦合时,使固定部件(3)自动可重复地相对探测器夹持装置进行找正。对于根据本发明的探测器,扫描尖端(6)和固定部件(2)的确定的基点(9)之间的相应距离(12)构造为恒定,使得更换扫描探测器(4)时无需在纵向方向上对扫描探测器(4)进行找正。 | ||
搜索关键词: | 用于 扫描 探测器 显微镜 自找 | ||
【主权项】:
1.扫描探测器(1),用于替代地应用于扫描探测器显微镜中,该扫描探测器具有微悬臂梁(4),在其一个端部(5)上设置有用于扫描试样的扫描尖端(6),并且在其另一端部(13)上设置有固定部件(2),该固定部件用于在固定于探测器夹持装置上的支承部件(3)上将扫描探测器(1)可拆卸地进行固定,其中在固定部件(2)和支承部件(3)上各自构造有对应的找正机构(8、8’、8”)、(16、16’、16”),它们将固定部件(2)在同支承部件(3)相耦合时自动地可重复地相对探测器夹持装置进行找正,其特征在于,所述扫描探测器(1)的微悬臂梁(4)具有不同的长度(14),并且扫描尖端(6)和固定部件(2)的确定的基点(9)之间的相应距离(12)构造为恒定的。
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