[发明专利]一氧化碳气体传感器的制备方法及一氧化碳气体传感器无效
| 申请号： | 200710105224.9 | 申请日： | 2007-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN101311710A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | 陈克绍;廖淑娟;陈运煌;张荣监 | 申请（专利权）人： | 福华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01N27/00;H01L49/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种一氧化碳气体传感器的制备方法及一氧化碳气体传感器，尤其是指一种可于室温下感测并具有较佳感测选择性的一氧化碳气体传感器及其制备方法。制备方法包括：提供一具有一上表面的基板；形成二组电极于此基板的上表面，且两组电极组成一对栉形电极；形成一覆盖电极的部分与基板上表面部分的氧化锡层；以及形成一有机聚合物层于氧化锡层的表面。一氧化碳气体传感器则包括：一具有一上表面的基板；二组位于基板上表面的电极；一覆盖二组电极部分与基板上表面部分的氧化锡层；以及一位于氧化锡层的表面有机聚合物层。 | ||
| 搜索关键词： | 一氧化碳 气体 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种一氧化碳气体传感器的制备方法，包括下列步骤：提供一具有一上表面的基板；形成二组电极于该基板上表面；形成一个氧化锡层，且该氧化锡层覆盖该二组电极部分与该基板上表面部分；以及形成一有机聚合物层于该氧化锡层表面。
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