[发明专利]用于测试大面积基板上电子器件的探针有效
| 申请号： | 200710105270.9 | 申请日： | 2007-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN101082637A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 本杰明·M·约翰逊;斯瑞拉姆·克里什纳斯瓦米;亨·T·古因;马斯亚斯·布吕纳;刘永;威廉·比顿;路德威格·里德尔;拉尔夫·舒米德 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述了一种用于测试大面积基板的装置和方法。大面积基板包括显示器的图案和在大面积基板上电性连接到显示器上的接触点。该装置包括相对于大面积基板和/或接触点可移动的探针组件，并配置以测试在各种大面积基板上的显示器图案和接触点。探针组件还配置以测试设置在测试台上的部分大面积基板，并且可配置探针组件在不必从测试台去除探针组件的情况下测试不同的显示器和接触点图案。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 大面积 基板上 电子器件 探针 | ||
【主权项】：
1.一种探针组件，包含：框架；以及多个接触头，可移动地连接到所述框架，其中各个所述接触头在平行于所述框架的方向上、在与所述框架正交的方向上、在相对于所述框架成一角度的方向上或者其结合的方向上独立定向。
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