[发明专利]探针卡的固定机构、探针卡的固定方法以及探针装置有效
| 申请号： | 200710105525.1 | 申请日： | 2007-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN101109766A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 中村茂木 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/06 | 分类号： | G01R1/06;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种结构紧凑、成本低廉，能以稳定固定力固定探针卡且在驱动装置中能简单改变探针卡保持力的探针卡固定机构。本发明的探针卡的固定机构(10)包括固定于顶板(11)的开口部的镶嵌垫环(12)、可旋转地被支撑在该镶嵌垫环上的锁定环(13)、从该锁定环(13)径向延伸的杠杆(14)和分别与该杠杆(14)连接的弹簧机构(15)以及气缸(17)，通过气缸(17)在解除弹簧机构(15)的压缩力时从弹簧机构(15)向杠杆(14)提供推压力，使锁定环(13)旋转，由保持件(16)举起探针卡(161)，用锁定环(13)和镶嵌垫环(12)保持卡保持件(161)而固定探针卡(16)。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 固定 机构 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡的固定机构，包括固定在探针装置的顶板的开口部的镶嵌垫环、由该镶嵌垫环可旋转地支撑的锁定环、从该锁定环径向延伸设置的杠杆和连接于该杠杆的延伸端部且设置于所述顶板上的驱动装置，通过由所述驱动装置向所述杠杆提供推压力而使所述锁定环旋转并举起探针卡，由所述锁定环与所述镶嵌垫环保持所述探针卡并固定所述探针卡，其特征在于：所述驱动装置包括向所述杠杆提供推压力的弹簧机构和连接于该弹簧机构且使该弹簧机构伸缩的推压机构，所述推压机构在解除所述弹簧机构的压缩力时从所述弹簧机构向所述杠杆提供推压压力，并且使所述锁定环旋转。
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