[发明专利]用于检测设备的透镜拼接方法及其系统无效
| 申请号： | 200710106032.X | 申请日： | 2007-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101315470A | 公开（公告）日： | 2008-12-03 |
| 发明（设计）人： | 许巍耀;曾释锋;林宇仁 | 申请（专利权）人： | 赖秀惠 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02B7/02 |
| 代理公司： | 北京天平专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张争艳 |
| 地址： | 中国台湾台北县新庄*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明系为一种用于检测设备的透镜拼接方法及其系统，尤指用于玻璃基板、印刷电路基板或晶圆基板等的表面缺陷检测、表面微结构组织检测或是基板的表面电子零件接合检测等的检测系统，其主要包括可发出测试光源的光源投射机、可将光源进行反射的反射镜、具有聚焦特性的拼接式透镜以及一待测基板；通过将一个以上裁切后的透镜进行拼接增加拼接式透镜的尺寸，而其裁切透镜的技术主要乃将欲形成于拼接式透镜中央位置的透镜以原中心点进行裁切，而欲与中央透镜拼接的透镜则以中心点偏移的方式进行裁切，藉由将中央透镜及偏移透镜的拼接不但可以增加拼接式透镜的尺寸，并可藉此拼接式透镜于该待测基板上形成分布均匀的光斑。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 设备 透镜 拼接 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
1、一种用于检测设备的透镜拼接方法，尤指运用于检测基板中所使用的拼接式透镜，其特征在于，该透镜的拼接方法包括有：将欲形成于拼接式透镜中央位置的透镜以原中心点进行裁切以形成中央透镜；将欲与中央透镜拼接的透镜以中心点偏移的方式进行裁切以形成偏移透镜；及将中央透镜与偏移透镜进行拼接以形成拼接式透镜。
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