[发明专利]用于确定等离子体特性的方法无效
| 申请号： | 200710106741.8 | 申请日： | 2007-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN101090597A | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·C·香农;丹尼尔·J·霍夫曼;杰里迈亚·T·P·彭德;塔雷格·马瓦瑞 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;H01L21/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了用于确定等离子体的特性的方法。在一个实施例中，一种用于确定等离子体的特性的方法包括获得耦合到等离子体的具有不同频率的第一和第二波形的电流和电压信息的度量，利用从每个不同频率的波形获得的度量确定等离子体的至少一个特性。在另一个实施例中，该方法包括提供作为频率函数的等离子体的等离子体阻抗模型，并利用模型确定等离子体的至少一个特性。在又一实施例中，该方法包括提供作为频率函数的等离子体的等离子体阻抗模型，测量耦合到等离子体并且具有至少两个不同频率的波形的电流和电压，并利用模型和测得的波形的电流和电压确定等离子体的离子质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 等离子体 特性 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定等离子体的特性的方法，包括：获得耦合到等离子体的第一波形的电流和电压信息的度量；获得耦合到所述等离子体的第二波形的电流和电压信息的度量，所述第一和第二波形具有不同频率；利用从每个不同频率的波形获得的度量确定所述等离子体的至少一个特性。
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