[发明专利]图案形成方法及其计算机可读介质无效
| 申请号： | 200710106775.7 | 申请日： | 2007-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN101093361A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 吉泽惠资;小山利德;赤川雅俊 | 申请（专利权）人： | 新光电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾红霞;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开一种图案形成方法及其计算机可读介质，在利用分配给沿对象物的相对移动方向限定的各个曝光区域的多个空间光调制元件使该对象物的表面曝光以在该对象物的表面上形成所希望的图案的图案形成装置中，在该对象物沿与相对移动方向垂直的方向移动，使得该对象物的表面上位于各个曝光区域的边界附近的预定区域位于由空间光调制元件曝光的曝光区域的中心部分附近之后，所述预定区域由与曝光区域对应的空间光调制元件曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 及其 计算机 可读 介质 | ||
【主权项】：
1.一种用于在对象物的表面上形成图案的图案形成方法，包括：确定步骤，其确定所述对象物关于与所述对象物的相对移动方向垂直的方向的布置可用范围，以使最大数目的多个预定区域位于稳定曝光区域中，所述预定区域在所述对象物的表面上并沿与所述对象物的所述相对移动方向垂直的方向排列，各个所述稳定曝光区域沿与所述对象物的所述相对移动方向垂直的方向位于各个曝光区域的中心部分，沿所述对象物的所述相对移动方向限定所述曝光区域；以及设定步骤，其在所确定的布置可用范围内设定所述对象物关于与所述相对移动方向垂直的方向的设置位置，以通过分别分配给所述曝光区域的多个空间光调制元件使位于所述稳定曝光区域中的所述预定区域曝光。
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