[发明专利]分段场效应晶体管的制造方法有效
| 申请号： | 200710109200.0 | 申请日： | 2004-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN101079381A | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 张郢;布鲁斯·B·多丽丝;托马斯·萨弗隆·卡纳斯克;杨美基;贾库布·塔德尤斯·科德泽尔斯基 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L21/336 | 分类号： | H01L21/336 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 付建军 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种场效应器件的制备方法，包括以下步骤：提供晶体半导体材料的第一层，其中所述第一层设置在绝缘体层上；制备壁和第二层的形成体，其中所述第二层设置在所述第一层上，所述壁设置在所述第二层上，其中所述壁具有内部和外部；以及将所述形成体转移到所述第一层内产生由所述晶体半导体材料组成的内核，所述内核包括所述场效应器件的本体，所述本体具有至少一个垂直取向部分和至少一个水平取向部分。 | ||
| 搜索关键词： | 分段 场效应 晶体管 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种场效应器件的制备方法，包括以下步骤：提供晶体半导体材料的第一层，其中所述第一层设置在绝缘体层上；制备壁和第二层的形成体，其中所述第二层设置在所述第一层上，所述壁设置在所述第二层上，其中所述壁具有内部和外部；以及将所述形成体转移到所述第一层内产生由所述晶体半导体材料组成的内核，所述内核包括所述场效应器件的本体，所述本体具有至少一个垂直取向部分和至少一个水平取向部分。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
