[发明专利]荧光X射线分析设备有效
| 申请号： | 200710109917.5 | 申请日： | 2007-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN101093201A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 笹山则生 | 申请（专利权）人： | 精工电子纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223;G21K1/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 原绍辉 |
| 地址： | 日本千叶*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供了使用偏振以有效地测量样本表面的微小部分而不需要准备许多类次级目标的荧光X射线分析设备。根据本发明的荧光X射线分析设备包括用于生成X射线的X射线管；用于支承接收了X射线的样本的样本支承部分；用于接收将从接收了X射线的样本生成的X射线的偏振滤光器；和用于检测来自偏振滤光器的X射线的检测器。然后，X射线管、样本、偏振滤光器和检测器布置为使三个光路，即，从X射线管到样本的光路、从样本到偏振滤光器的光路和从偏振滤光器到检测器的光路相互以90度相交。 | ||
| 搜索关键词： | 荧光 射线 分析 设备 | ||
【主权项】：
1.一种荧光X射线分析设备，其包括：用于生成X射线的X射线管；用于支承接收X射线的样本的样本支承部分；用于接收从接收X射线的样本生成的X射线的偏振滤光器；和用于检测来自偏振滤光器的X射线的检测器；其中X射线管、样本支承部分、偏振滤光器和检测器布置为使三个光路，即，从X射线管到样本的光路、从样本到偏振滤光器的光路和从偏振滤光器到检测器的光路相互以90度相交。
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