[发明专利]曝光装置无效
| 申请号： | 200710111347.3 | 申请日： | 2007-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN101101452A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 厚见辰则;中村兼吾 | 申请（专利权）人： | 日本精工株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京泛诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨本良;文琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种通过能够可靠地防止因与基板的干涉导致掩模破损的曝光装置。分割逐次接近曝光装置PE包括：激光监视装置(70)，其具有发射出大致在水平方向上通过保持在掩模装载台(1)的掩模M与保持在工件装载台(2)的基板W间的规定位置的激光束LB的发光部(71，72)和接收激光束LB的受光部(73，74)；和控制装置(80)，当受光部(73，74)接收的激光束LB的受光量在规定值以下时，停止工件装载台的上升移动。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种曝光装置，具有：保持作为被曝光件的基板的工件装载台；与所述基板相对配置并保持掩模的掩模装载台；通过所述掩模向所述基板照射图案曝光用的光的照射单元；以及输送机构，使所述工件装载台和所述掩模装载台相对地步进移动，以使所述掩模的掩模图案与所述基板上的多个规定位置相对，其特征在于，所述曝光装置具有：激光监视装置，具有发光部和接收该激光束的受光部，该发光部发射出大致在水平方向上通过保持在所述掩模装载台上的掩模与所述保持在工件装载台上的基板之间的规定位置的激光束；和控制装置，当该受光部接收到的所述激光束的受光量变成规定值以下时，使所述掩模装载台和所述工件装载台中的至少一方停止上下方向的移动。
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