[发明专利]氮化锌薄膜制备方法无效
| 申请号： | 200710114534.7 | 申请日： | 2007-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101463469A | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 闫金承;焦芳冉;秦云海;孟超 | 申请（专利权）人： | 闫金承 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 威海科星专利事务所 | 代理人： | 于 涛 |
| 地址： | 264200山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种氮化锌薄膜制备方法，其特征是在溅射锌的同时向溅射联合设备中通入氮气和氩气的混合气体，在石英衬底上制备出较稳定氮化锌，步骤如下：首先用酒精、丙酮，去离子水在超声波中清洗石英衬底，在磁控溅射室中放入锌靶，并将衬底放入溅射室中；抽真空，抽至高真空下，一般抽至本底真空为10-4-10-5Pa；打开流量计，先抽气路中的空气，待流量降为零时，开始充入氮气，流量在60-80sccm，在此过程中应持续抽气体；加热到200摄氏度，使溅射室压强稍增大，然后起辉，预溅射半小时后开始反应，计时约两小时；反应停止后，待溅射室温度降至50度左右时，可以将机器关闭，取出衬底即可，本发明得到的薄膜电阻率低，迁移率高，透过率高，稳定性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种氮化锌薄膜制备方法，其特征是在溅射锌的同时向溅射联合设备中通入氮气和氩气的混合气体，在石英衬底上制备出较稳定氮化锌，步骤如下：一是首先用酒精、丙酮，去离子水在超声波中清洗石英衬底，在磁控溅射室中放入锌靶，并将衬底放入溅射室中，二是抽真空，抽至高真空下，一般抽至本底真空为10-4--10-5Pa，三是打开流量计，先抽气路中的空气，待流量降为零时，开始充入氮气，流量在60-80sccm，在此过程中应持续抽气体，四是加热到200摄氏度，使溅射室压强稍增大，然后起辉，预溅射半小时后开始反应，计时约两小时，五是反应停止后，待溅射室温度降至50度左右时，可以将机器关闭，取出衬底即可。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于闫金承，未经闫金承许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710114534.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
