[发明专利]用1342nm激光7倍频获得192nm紫外激光的方法

摘要

本发明公开了一种用1342nm激光7倍频获得192nm紫外激光的方法，基频光为声光调Q获得的1342nm脉冲激光，有三种方法能获得7倍频，实现192nm深紫外激光输出。分别是：1342nm激光与其6倍频223.7nm激光和频实现192nm激光输出；1342nm激光2倍频671nm与5倍频268.4nm和频实现192nm激光输出；和1342nm激光3倍频447nm与4倍频335.5nm和频实现192nm激光输出。本发明方法结构简单紧凑，且整个装置只需要一个1342nm激光光源，结构易于得到和制备，具有很大的灵活性和实用性，易于调节。

主权项

1.一种用波长1342nm激光7倍频获得192nm紫外激光的方法，其特征在于：基频光光源为一个声光调Q 1342nm的Nd:YVO4激光器，泵浦源为半导体激光器，最大输出功率为45W，泵浦波长为808nm，激光晶体Nd:YVO4前后镀有808nm和1342nm的增透膜，1342nm激光器谐振腔为两镜腔；整个装置只有一个谐振腔，声光开关置于腔内，其它非线性晶体都置于腔外；从1342nm全固态激光器输出的1342nm的激光，以如下方式实现192nm深紫外激光输出：(1)1342nm激光与其6倍频223.7nm激光和频实现192nm激光输出；(2)1342nm激光2倍频671nm与5倍频268.4nm和频实现192nm激光输出；(3)1342nm激光3倍频447nm与4倍频335.5nm和频实现192nm激光输出。