[发明专利]一种延长直拉单晶炉中主发热体使用寿命、减少其自重的方法无效
| 申请号： | 200710118288.2 | 申请日： | 2007-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN101338450A | 公开（公告）日： | 2009-01-07 |
| 发明（设计）人： | 周旗钢;吴志强;戴小林;王学锋 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/18 | 分类号： | C30B15/18;C30B15/10 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种延长直拉单晶炉中主发热体使用寿命、减少其自重的方法，该主发热体由石墨制成，它用在一种名为切克劳斯基(或称直拉)法制造的硅单晶生长制备中，用于供给维持热场用的热量。本方法是将发热片波浪状转弯处的外壁及内壁的直角做成为圆弧倒角或直边倒角。本发明的优点是：该方法简便，使用效果好，总重量可以减少5％－18％，可以延长主发热体的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延长 直拉单晶炉中主 发热 使用寿命 减少 自重 方法 | ||
【主权项】：
1、一种延长直拉单晶炉中主发热体使用寿命、减少其自重的方法，所述的主发热体由多片加热片组成，每片呈波浪状，且波浪状转弯处的外壁及内壁呈直角，波浪状的两个端部带有电极，其特征在于：将加热片波浪状转弯处的外壁及内壁的直角做成为圆弧倒角或直边倒角。
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