[发明专利]氧化物的化学气相沉积制备装置及制备方法无效
| 申请号： | 200710118635.1 | 申请日： | 2007-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN101343776A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 段垚;王晓峰;崔军朋;曾一平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C30B29/16;C23C16/40 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种氧化物的化学气相沉积制备装置，包括：一反应管，反应管内部有一金属舟组件和一衬底托，该衬底托的一个表面上可以安置一个或多个衬底；一进气口，用于输送第二气体到该反应管内并能到达衬底处；一加热装置，该加热装置安置在反应管的外围，可加热反应管及其内部的物件；该金属舟组件包括：依次连通的一通道，一金属舟，一通道，一喷口；金属舟是中空的，用于容纳金属；喷口指向衬底托；从通道通入的第一气体将依次经过金属舟、通道和喷口，喷向衬底托及衬底，并在经过金属舟时与其容纳的金属接触，使金属的蒸汽混入第一气体中。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 化学 沉积 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化物的化学气相沉积制备装置，其特征在于，包括：一反应管，反应管内部有一金属舟组件和一衬底托，该衬底托的一个表面上可以安置一个或多个衬底；一进气口，用于输送第二气体到该反应管内并能到达衬底处；一加热装置，该加热装置安置在反应管的外围，可加热反应管及其内部的物件；该金属舟组件包括：依次连通的一通道，一金属舟，一通道，一喷口；金属舟是中空的，用于容纳金属；喷口指向衬底托；从通道通入的第一气体将依次经过金属舟、通道和喷口，喷向衬底托及衬底，并在经过金属舟时与其容纳的金属接触，使金属的蒸汽混入第一气体中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710118635.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：高处作业吊篮悬挂支架
- 下一篇：卫生清洁装置
