[发明专利]一种氧化锌铁电薄膜的制备方法无效
申请号: | 200710119652.7 | 申请日: | 2007-07-27 |
公开(公告)号: | CN101148781A | 公开(公告)日: | 2008-03-26 |
发明(设计)人: | 于利刚;张耿民;栾桂东;张金铎;郭等柱 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | C30B29/48 | 分类号: | C30B29/48;C30B29/16;C30B30/02 |
代理公司: | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人: | 周政 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种氧化锌铁电薄膜的制备方法,包括以下步骤:a.清洗锌片,除去锌片表层的氧化物并使之平整;b.以0.3~0.5摩尔/升的氢氧化锂水溶液作为电解液,阳极氧化锌片;c.取出锌片,用去离子水冲洗干净,在锌片表面获得氧化锌薄膜,该薄膜为多孔状结构,厚度可达10微米,呈现铁电性质。本发明的方法实现了氧化锌在溶液法生长过程中的锂掺杂,获得了具有铁电性质的氧化锌薄膜,简单易行,所需原料廉价,所用设备简单,制备参数容易控制,实现了氧化锌由一般的压电材料向铁电材料的转化。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化锌 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种氧化锌铁电薄膜的制备方法,包括以下步骤:a.清洗锌片,除去锌片表层的氧化物并使之平整;b.以0.3~0.5摩尔/升的氢氧化锂水溶液作为电解液,阳极氧化锌片,在锌片表面形成锂掺杂的氧化锌薄膜;c.取出锌片,用去离子水冲洗干净,在锌片表面获得氧化锌铁电薄膜。
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