[发明专利]一种MEMS陀螺仪的精密安装基准体组件及其安装方法

摘要

一种MEMS陀螺仪的精密安装基准体组件及其安装方法，包括精密安装基准体和敏感轴水平的微型MEMS振动陀螺仪本体，陀螺仪本体嵌入到基准体内部凹陷空间里，基准体采用装配性能和二次加工性能优良的材料制成，组件通过第一基准面和第二基准面与载体连接。安装时先加工出基准体初型，并安装陀螺仪，再测试出陀螺的输入轴失准角，计算出安装偏角，然后根据偏角，修正安装基准体的基准面，使偏角趋向于零。本发明利用了基准体制备材料优良的装配性能和二次加工性能，通过加工和修正来提高陀螺安装精度，适用于各种通过电路板安装的敏感轴水平的微型陀螺仪，尤其适用于组成各种小型化运载体中惯性测量单元的微型MEMS振动陀螺仪。

主权项

1.一种MEMS陀螺仪的精密安装基准体组件，其特征在于：包括精密安装基准体和敏感轴水平的微型MEMS振动陀螺仪本体，安装基准体的主体为内部凹陷的长方体，包括第一基准面、第二基准面和内部凹陷空间，内部凹陷空间的形状根据陀螺仪本体的外形尺寸设计而成，以使陀螺仪本体嵌入到该凹陷空间里，与MEMS陀螺仪本体安装面平行的底面作为第一基准面，与MEMS陀螺仪水平敏感轴垂直的基准体侧面作为第二基准面；凹陷空间内部有两种安装孔，一种为螺纹孔，其位置由将陀螺仪本体固定在安装基准体内的安装形式决定，另一种为通孔，其位置由将安装基准体安装到载体上的安装形式决定，在不作为基准面的侧面开孔，作为陀螺仪本体的走线孔。