[发明专利]在光罩上制作倾斜线路的方法

摘要

本发明公开了在光罩上制作倾斜线路的方法，将待曝光的矩形图案分成若干面积相同的第一矩形区域，用相同的电子束剂量在各个第一矩形区域曝光；在光罩的阻剂层上形成第一阻剂矩形图案；将第一阻剂矩形图案分成若干面积不同的第二矩形区域，用不同的电子束剂量在各个第二矩形区域曝光；在光罩的阻剂层上形成第二阻剂矩形图案；根据重叠间距，将多个第二阻剂矩形图案重叠放置，形成倾斜线路；经过显影、去阻剂层以及蚀刻过程后在光罩上形成倾斜线路。所述的通过控制电子束尺寸、电子束剂量和矩形图案重叠间距，使倾斜线路的分辨率提高，不同倾斜角度线路的临界尺寸差距减小。

主权项

1.一种在光罩上制作倾斜线路的方法，包括下列步骤：将待曝光的矩形图案分成若干面积相同的第一矩形区域，位于该矩形图案两端的第一矩形区域为第一边缘区域；用相同的电子束剂量在各个第一矩形区域曝光；在光罩的阻剂层上形成第一阻剂矩形图案；将第一阻剂矩形图案分成若干第二矩形区域，位于该矩形图案两端的第二矩形区域为第二边缘区域，第二边缘区域的面积比第一边缘区域面积小；第二边缘区域采用比第一边缘区域小的电子束剂量曝光，非边缘第二矩形区域采用与第一矩形区域相同的电子束剂量曝光；在光罩的阻剂层上形成第二阻剂矩形图案；根据重叠间距，重复上述步骤，形成多个第二阻剂矩形图案，并且将多个第二阻剂矩形图案重叠放置，形成倾斜线路；经过显影、去阻剂层以及蚀刻过程后在光罩上形成倾斜线路。